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產(chǎn)品介紹
晶片膜厚自動測量及分類機(jī)
多種解決方案實現(xiàn)多種材料，多層材料的表面薄膜厚度及微區(qū)薄膜厚度的自動測量。
不同波長下干涉譜測量膜厚的配置方案
膜厚干涉原理 白光干涉譜
膜厚測量模塊 顯微膜厚測量模塊
中紅外光源 中紅外光譜儀
聯(lián)系：
北京中拓光電科技有限公司 
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