通過特定波長激光激發指定材料，獲得熒光光譜，對熒光光譜進行采集并后處理呈現熒光各項特征。波長覆蓋紫外到近紅外（200-2500nm），可對2-12寸外延片進行測量。
半自動（手動）PL掃描成像儀IM-1180
自動PL掃描成像儀IM-3600
外延片低溫PL測試儀IM-1090
爐盤分析軟件
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